准分子激光气获关键认证，盈德气体助力先进制造高质量发展

准分子激光气获关键认证，盈德气体助力先进制造高质量发展

2023年11月，盈德气体子公司——上海基量标准气体有限公司（以下简称：上海基量）生产的用于ExciStar 激光器的193nm激光混配气一次性通过美国Coherent（相干）公司的测试，成功获得准分子激光气合格供应商认证。这是盈德气体电子特气发展的关键一步，将进一步满足我国芯片半导体、医疗等多个激光器领域的应用需求。

Coherent（相干）公司是激光行业的标杆企业，其准分子激光气合格认证也是业内公认的难关。然而，上海基量依托深厚的气体技术积累与丰富的电子特气领域实践经验，首次送检即成功通过了Coherent适配性测试，并取得合格供应商认证，将为医疗、光刻、OLED显示等行业企业提供优质激光混配气，为高端制造业的高品质发展提供强有力的推动力。

上海基量前身是上海计量测试技术研究院气体研究室，主要生产标准气体、特种混合气体、高纯气体与稀有气体，并进行气体检测服务和检测仪器的研发，已获得中启计量体系认证中心颁发的“测量管理体系认证证书”、CMC（China Metrology Certification，中华人民共和国制造计量器具许可证）、CMA（China Inspection Body and Laboratory Mandatory Approval，检验检测机构资质认定）资质。